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世聯(lián)翻譯公司完成“真空金屬沉積系統”操作說(shuō)明中文翻譯
發(fā)布時(shí)間：2020-06-15 15:08 點(diǎn)擊：
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目錄1. 健康和安全注意事項2. 說(shuō)明3. 技術(shù)數據4. 所需服務(wù)5. 安裝6. 部件布局7. 操作8. 建議的維護要求9. 建議的備件清單VMD900DL說(shuō)明手冊 第3頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited1. 健康和安全注意事項警告！ 在使用本設備前，請閱讀這些說(shuō)明及所有相關(guān)的制造商說(shuō)明手冊。 本系統自動(dòng)運行。系統真空泵和閥門(mén)可以運行，而無(wú)警告。 如果需斷開(kāi)壓縮空氣供應管道，應謹慎操作。 在進(jìn)行任何維護前，隔離系統的電源供應 操作本系統時(shí)應特別謹慎 操作員在使用本系統前，應充分熟悉所有相關(guān)的操作和健康及安全程序 在本系統上進(jìn)行清洗或維護前，請仔細閱讀本手冊。 當在本系統上進(jìn)行清洗或維護時(shí)，始終穿戴建議的個(gè)人防護裝備VMD900DL說(shuō)明手冊 第4頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 說(shuō)明VMD900DL真空金屬沉積系統旨在用于真空鍍膜指紋檢測技術(shù)。該系統的設計主要用于軟包裝塑料的涂鍍，如聚乙烯袋，同時(shí)可用于固體塑料、玻璃、槍支和許多其他無(wú)孔樣品制成的部件的涂鍍。該工藝將按照應用科學(xué)技術(shù)中心（CAST）開(kāi)發(fā)的程序執行，并記錄在指紋可視化手冊2014中。總則本系統的設計符合所有英國標準，并使用新的CE認證的部件制造。該系統適合于警務(wù)室和法醫實(shí)驗室中的工作人員使用，只需最低限度的培訓，并且所需維護工作量最少。部件、控件和設計均確保對操作員和其他人員健康和安全的危害最小化本系統的設計能夠提供快速的抽真空時(shí)間，可輕松蒸發(fā)和進(jìn)氣，因此周期時(shí)間最小。腔室該系統在一次蒸發(fā)中，能夠涂鍍的軟聚乙烯薄膜材料表面最大達到800mm×1214mm，且基底無(wú)需伸出到工件夾具之外。腔室是臥式圓柱型，內部直徑為770mm，內部可用深度約為900mm。提供有用于腔室樣品裝卸的簡(jiǎn)單方法（參見(jiàn)下面的工件夾具規格）。腔室內裝有一個(gè)直徑200mm的通過(guò)孔徑窗口，方便觀(guān)察待涂鍍的樣品表面。該窗口提供清晰視界，斜向上觀(guān)察到涂鍍表面。VMD900DL說(shuō)明手冊 第5頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited腔室的設計使普通身高的操作員可以很容易地通過(guò)觀(guān)察口進(jìn)行觀(guān)察，并容易觀(guān)察腔室上部的內表面。提供四個(gè)低電壓LED燈（每個(gè)至少為20瓦），每側燈絲兩個(gè)，分布在沿燈絲組件大約三分之一和三分之二的位置。操作員可以很容易地更換這些燈具。燈座的設計使得觀(guān)察者可避免燈絲光直射，同時(shí)為待涂鍍樣品表面提供最佳的照明。在處理樣品和顯現標志期間，可以打開(kāi)和關(guān)閉燈光操作員可以很容易地更換這些燈具。抽氣孔開(kāi)口處安裝有金屬格柵，以防止將如聚乙烯薄膜等材料吸入泵內，并防止對高真空閥門(mén)造成潛在損害。工件夾具提供裝載待處理物品的簡(jiǎn)單方法。安裝一個(gè)直徑750mm的半圓柱形工件夾具（比腔室內半徑約小25mm，并且比腔室的可用內部長(cháng)度短50mm）�？赏ㄟ^(guò)小型10mm直徑×10mm長(cháng)的高功率Bromag磁鐵，將薄聚乙烯薄膜牢固地連接至工件夾具。工件夾具為不銹鋼磁性等級。具有耐弱堿或酸清洗性能。工件夾具安裝在支撐導軌的系統上，使其可完全從腔室收回，鎖定在處于45、90和180度位置的收回位置。工件夾具的收回和旋轉操作確�？焖倏煽亢桶踩�，因此工件夾具的設計可以消除兩個(gè)支持導軌和鎖定系統獨立運行的可能性。為最大程度保證操作員的安全，采用摩擦停止和機械停止兩種方式。注意：當旋轉工件夾具系統時(shí)應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。VMD900DL說(shuō)明手冊 第6頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited工件夾具在燈絲上方也有三排直徑為3至5mm的平行小孔，以便大尺寸的展示件可以連接至工件夾具上進(jìn)行加工。特別注意事項該系統能夠處理典型量的水蒸氣和其他污染物，例如，樣品生成的烴油和有機化合物。同時(shí)可以處理由于鋅的蒸發(fā)而造成的其他重大污染源。注意：當清洗腔室設備時(shí)，應使用防塵口面罩、手套和安全眼鏡。泵送系統供應的泵送組在本應用中已得到很好的證明，非常強大和可靠，具有高泵送速度/性能，并高度耐受本工藝中發(fā)現的污染物。粗抽泵包括Edwards E2M80（旋轉泵）/Edwards EH500（機械增壓器）的組合，具有在大氣壓力下約80m3hr-1的泵送速度，以及在10-1毫巴條件下400 m3hr-1的泵送速度。該E2M80旋轉泵裝有一個(gè)MF100油霧過(guò)濾器，以確保通過(guò)泵排氣管的油霧排放達至最小。使用ISO100背壓/粗抽壓管，以確保腔室處的最佳泵送速度，不會(huì )由于導電限制而造成重大損失。提供Varian VHS-10水冷式擴散泵（5300 ls-1），并配有氣動(dòng)高真空閘閥。腔室的有效泵送速度為3750 l s-1。擴散泵注滿(mǎn)硅704流體。擴散泵將承受高達25℃的冷卻水入口溫度，并裝有熱敏彈簧開(kāi)關(guān)和水流開(kāi)關(guān)，該開(kāi)關(guān)連接到PLC控制系統，以進(jìn)行報警并提供自動(dòng)故障安全狀態(tài)檢測。泵送性能和系統規范Edwards E2M80（旋轉泵）/Edwards EH500（機械增壓器）和Varian VHS-10高通量擴散泵組合，確保實(shí)現非�？焖俚某闅鈺r(shí)間。在不運行“指形冷凍器”的情況下，在金或銀工藝壓力條件下（1x10-5毫巴）的空載、干燥室排氣時(shí)間通常是6-7分鐘。VMD900DL說(shuō)明手冊 第7頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited在正常工作參數條件下，對于訓練有素的操作員，可以在不到12分鐘的時(shí)間完成一次過(guò)程。燈絲支架和電源蒸發(fā)絲沿腔室的前部至后部直線(xiàn)分散布置，距離腔室的底部約100mm。在金和鋅的蒸發(fā)過(guò)程中，燈絲相對于待涂鍍表面的位置應謹慎設計，應盡可能使表面均勻涂鍍。有三個(gè)獨立可選擇的蒸發(fā)源組。燈絲設計應使得特定源的位置具有靈活性。源安裝在沿腔室長(cháng)度約1/4、1/2、3/4的距離處。采用燈絲夾固定到源母線(xiàn)的設計，確保燈絲更換時(shí)不會(huì )導致意外的安裝錯位。燈絲組件可直接拆除和拆卸，以方便清潔，并采用堅固耐用結構。絕緣體的設計最大限度地減少發(fā)生鋅沉積層“橋接”的潛在問(wèn)題。電源和控制系統非常適合于提高用于蒸鍍金的一對燈絲溫度達至白熱狀態(tài)，以及提升兩用于鍍鋅的蒸發(fā)皿溫度至熾熱狀態(tài)。儀表與控制系統控制系統直觀(guān)可用，在腔室前從操作員的位置，可以很容易地使用所有經(jīng)常使用的控件，同時(shí)可通過(guò)腔室觀(guān)察口進(jìn)行觀(guān)察。三菱FX系列可編程邏輯控制器（PLC）和E1101觸摸屏字母數字顯示器（HMI）�？刂葡到y提供真空系統的簡(jiǎn)單半自動(dòng)操作。采用單按鈕操作，PLC控制真空泵的運行和腔室從大氣壓力至工藝準備壓力的排氣。VMD900DL說(shuō)明手冊 第8頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedHMI顯示器具有一個(gè)簡(jiǎn)單的系統模擬，并安裝在控制單元內，以允許操作員易于識別系統狀態(tài)。所有控件均清楚地標記。控制系統通過(guò)“SOURCE”提供蒸發(fā)控制。PLC控制腔室壓力處于以下參數內：金 超過(guò)2×10-4毫巴鋅 3×10-4和5×10-4毫巴之間真空計真空測量包括兩個(gè)ATC-M主動(dòng)熱電偶測頭（一個(gè)在再生管線(xiàn)中，另一個(gè)在腔室上）以及一個(gè)位于腔室上的AIM-S主動(dòng)倒置磁控測頭。在最佳壓力（由腔室ATC-M測量）條件下時(shí)，AIM-S主動(dòng)倒置磁控測頭自動(dòng)開(kāi)啟和關(guān)閉，以防止其在不適當高壓條件下工作。即使對于技術(shù)并不熟練的操作員，AIM-S頭也非常容易拆卸，且易于清洗，并且不會(huì )對校準帶來(lái)不利影響。所有壓力顯示在人機界面顯示面板上。具體數據顯示如下：背壓-顯示背壓管線(xiàn)中的壓力。粗抽壓力-顯示抽空的最初“粗抽”階段腔室中的壓力。高真空壓力-顯示抽空的“高真空”階段腔室中的壓力。指形冷凍器（可選額外附件）真空室可配備具有Polycold PFC552低溫制冷系統的低溫制冷指形冷凍器。制冷系統連接到一個(gè)最小面積為250 cm2的“指形冷凍器”。指形冷凍器為圓形截面和自立式。本系統可運行-120℃以下溫度條件下注意：如果處理具有高水分含量的展示件，強烈建議此選項。同樣，對于一般用途，指形冷凍器將顯著(zhù)縮短腔室抽空時(shí)間。VMD900DL說(shuō)明手冊 第9頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited冰指的位置應使得可無(wú)阻礙地通過(guò)擦拭全長(cháng)度而進(jìn)行定期清洗，而無(wú)需移除任何輔助部件。注意：腔室門(mén)打開(kāi)時(shí)，指形冷凍器溫度仍然可以維持在-100℃。需注意防止裸露皮膚的凍傷。健康和安全其設計和結構均需確保非技術(shù)的培訓人員的安全操作。使用機器相關(guān)的任何潛在健康危害已加以記錄，并完全符合英國的“工作健康與安全法”以及“控制危害健康物質(zhì)條例”。電氣負荷VMD900DL系統和冷水機組需要415V+（中線(xiàn)）3相，50Hz，63安培的電力供應。目前可行的是將負荷均勻分布至各相。供水對于VHS-10擴散泵，最大可接受的入口溫度為25℃時(shí)的冷卻水流量要求為3.0 l min-1�？梢允亲詠�(lái)水或來(lái)自自由站立的冷水機組。對于Polycold PFC552HC系統（若購買(mǎi)），最大可接受的入口溫度為13℃時(shí)的冷卻水流量要求為4.3 l min-1�？梢允亲詠�(lái)水或來(lái)自自由站立的冷水機組。氣壓供應壓縮空氣的要求為100 磅平方英寸，幾乎為零流量�？梢允枪S(chǎng)空氣供應或來(lái)自自由站立的氣動(dòng)壓縮機。排氣E2M80泵的排氣通過(guò)Edwards MF100油霧過(guò)濾器排放到大氣中注意：建議排氣通過(guò)管道排放至排煙點(diǎn)或通過(guò)外墻。排氣管線(xiàn)必須始終暢通無(wú)阻。VMD900DL說(shuō)明手冊 第10頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited布置“獨立式”真空金屬沉積系統通常布置在實(shí)驗室中，所有泵及配件安裝到一個(gè)單獨的服務(wù)通道或附屬建筑物，以幫助減少輸出至室內和工作環(huán)境的噪音和熱量。假設泵和任何輔助設備都位于外部，在實(shí)驗室內系統的深度不超過(guò)3005mm，并且帶用于裝載的加長(cháng)工件夾具，那么系統將不能大于1200mm，包括控制面板。強烈建議將E2M80/EH500真空泵機組放置在一個(gè)與主系統分隔的房間內。這是因為兩者均產(chǎn)生熱負荷，這對于實(shí)驗室而言是不可接受的。由于這一原因，放置這些裝置的房間應具有足夠的自然或強制通風(fēng)條件。E2M80真空泵的噪聲級為70 dB（A），當放置泵時(shí)同時(shí)應該考慮該因素。可選附件閉環(huán)冷卻水機組應位于基座上，處于一個(gè)適當冷卻和通風(fēng)良好的工作房或通道，或者可將它放置在建筑物外部。建議Polycold 552HC系統及壓縮機也應放置在一個(gè)適當冷卻和通風(fēng)良好的工作房或通道內。樓板負荷近似的樓板負荷：主系統（腔室和控件） 1500Kg，占地為970mm×860mm真空泵組（E2M80/EH500） 220Kg，占地為400mm×250mm可選附件Polycold PFC552HC 408 Kg，占地為953 mm x 660 mm閉環(huán)冷卻水機組* 113 Kg，占地為652 mm x 575 mm閉環(huán)冷卻水機組* 188 Kg，占地為652 mm x 575 mm閉環(huán)冷卻水機組* 316 Kg，占地為1310 mm x 660 mm氣動(dòng)壓縮機 50 Kg，占地為400 mm x 750 mm*沒(méi)有位于內部的Polycold PFC552和冷水機組的系統**沒(méi)有位于外部的Polycold PFC552和冷水機組的系統***具有位于內部的Polycold PFC552和冷水機組的系統VMD900DL說(shuō)明手冊 第11頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited建筑工程應在主系統和相關(guān)設備選定位置的2米內提供上述的所有必需服務(wù)。設備文件該系統將提供：1. 提供一份簡(jiǎn)單副本，附于用戶(hù)指南。2. 一份全面操作手冊的副本，詳細說(shuō)明操作、保養和維護的所有方面。3. 技術(shù)數據旋轉泵： Edwards E2M80(80 m3hr-1)機械增壓器： Edwards EH500(500 m3hr-1)擴散泵： Varian VHS-10噪音水平： 小于75 dB尺寸： 1800mm寬x1920mm高×2200mm深度表面處理： 淺灰色的人造革4. 所需服務(wù)電氣： 414v 3相，50Hz中線(xiàn)+接地線(xiàn)電流額定： 最大63安培氣動(dòng)空氣供應： 80-100 PSI水冷卻（VHS-10）： 在最高溫度25℃時(shí)流量為3 L min-1。水冷卻（PFC552HC）： 在最高溫度13℃時(shí)流量為4.3 L min-1。旋轉泵的排氣： 合適的提取點(diǎn)到大氣5. 安裝該系統將由West Technology Systems Limited工程師完全安裝至已準備就緒的現場(chǎng)。使用底座上提供的準平頂具調平裝置，將系統布置在一個(gè)干凈的位置。按照說(shuō)明手冊，連接所有服務(wù)。重要提示：未能正確重新連接所有服務(wù)對于系統、系統組件及操作員將帶來(lái)危險。VMD900DL說(shuō)明手冊 第12頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited重要提示：檢查所有電機的方向，確保三相連接正確。重要提示：重新安裝后的連接或重連操作只能由合格的人員進(jìn)行。有關(guān)任何技術(shù)問(wèn)題，請咨詢(xún)West Technology Systems Limited。6. 總體布局“VMD 900DL”的設計符合人體工程學(xué)，適合大多數實(shí)驗室狀況。所有電源服務(wù)位于機器后方的固定面板上，包括水、氣、電和真空泵排氣線(xiàn)。其他面板可拆卸，允許方便維護所需的地方。該系統的設計考慮大多數操作員對于通過(guò)PLC控制大多數操作的真空系統的了解甚少或有限。操作員面板具有系統的所有控制，啟動(dòng)和關(guān)閉、腔室抽空和通風(fēng)以及連續沉積。真空壓力調節（對于鋅層）和源蒸發(fā)電流控制位于HMI附近。源變壓器位于可拆卸面板背后主外殼的右手側。VMD900DL說(shuō)明手冊 第13頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可編程邏輯控制器、所有接觸器和控制線(xiàn)路位于可拆卸面板背后主外殼的左手側。7. 操作啟動(dòng)系統注意：操作本設備前，請閱讀提供的所有說(shuō)明書(shū)。注意：當旋轉工件夾具系統時(shí)應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。首先檢查“緊急停止”按鈕不可操作，通過(guò)逆時(shí)針轉動(dòng)釋放它。接著(zhù)打開(kāi)墻上的電源“ON”。然后通過(guò)操作位于VMD900DL左手側面板上的開(kāi)關(guān)打開(kāi)電源。HMI將開(kāi)始測試例程，約15秒后會(huì )顯示 “WEST TECHNOLOGY歡迎屏幕”。按屏幕上的任何地方，操作員進(jìn)入“泵操作屏幕”按下“信息”按鈕，操作員將進(jìn)入“信息屏幕”（參見(jiàn)后文）。VMD900DL說(shuō)明手冊 第14頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited為啟動(dòng)系統，操作員按下“開(kāi)始系統”按鈕。注意：如果“安全復位”按鈕是紅色的，則系統必須休息。為了完成此操作，操作員按下“安全復位”按鈕。在短暫的延遲后，這個(gè)按鈕更改為“安全健康”。一旦出現“安全健康”的說(shuō)明，操作員可以通過(guò)按下“啟動(dòng)系統”按鈕啟動(dòng)系統。該按鈕將轉化為顯示“停止系統。VMD900DL說(shuō)明手冊 第15頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited該系統需要30分鐘才能啟動(dòng)，并且時(shí)間以倒數形式在“準備進(jìn)入”箱中顯示。控制屏幕按下系統模擬上的“控制”按鈕，操作員進(jìn)入“控制屏幕”。這是系統的主控制屏幕。“控制屏幕”是操作員執行連續沉積過(guò)程的地方。按下“抽空”按鈕，啟動(dòng)腔室的抽空。由于該按鈕是按下的，按鈕上的說(shuō)明暫時(shí)變?yōu)?ldquo;抽氣”，然后又返回顯示“抽空”。在屏幕上顯示腔室壓力。按下“關(guān)閉燈光”按鈕，打開(kāi)腔室LED燈，以照亮真空室內部。當按下時(shí)，“關(guān)閉燈光”圖標變?yōu)?ldquo;打開(kāi)燈光”。再次按下該按鈕，關(guān)閉LED燈（圖標變回為“關(guān)閉燈光”）。如需對真空室通風(fēng)，操作員只需按下“通風(fēng)”按鈕即可。一旦按下，腔室自動(dòng)通風(fēng)，并返回至大氣壓力。按下“菜單”按鈕，操作員進(jìn)入“菜單屏幕”。按下“燈箱”，HMI屏幕將變?yōu)橐粋�(gè)白色的燈箱屏幕�？捎糜诳焖贆z查工藝展示件，以評估顯現的指紋。按下“菜單”按鈕，操作員進(jìn)入“菜單屏幕”。按下“密封”按鈕，將密封腔室，即高真空閥門(mén)將關(guān)閉。此功能用于將展示件整夜維持在高真空條件下。VMD900DL說(shuō)明手冊 第16頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited金/鋅蒸發(fā)一旦腔室真空壓力達到高真空壓力高于1×10-4毫巴，蒸發(fā)源將變得活躍。為開(kāi)始金沉積過(guò)程，按下“關(guān)閉源”按鈕。Source Activation Button 源激活按鈕經(jīng)短暫延時(shí)后，右側“關(guān)閉源”圖標變?yōu)?ldquo;源1”，而左側“關(guān)閉源”圖標變?yōu)?ldquo;鍍金層1”。此時(shí)，操作員可以在HMI屏幕下側位置慢慢調整，并增加蒸發(fā)電流，直至蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，并且金絲融化和“浸濕”蒸發(fā)皿。VMD900DL說(shuō)明手冊 第17頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems LimitedCurrent Potentiometer 電流電位計注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。當黃金“浸濕”蒸發(fā)皿時(shí)，操作員可以通過(guò)電流電位計慢慢增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出白熱，黃金將開(kāi)始蒸發(fā)。蒸發(fā)時(shí)間不應超過(guò)3-5秒。當蒸發(fā)結束時(shí)，操作員使用電流電位計慢慢調節蒸發(fā)電流至零。按下“源1”按鈕，然后選擇第2組金蒸發(fā)皿（如果已安裝）。在正常工作下，不使用該蒸發(fā)源，但可能存在需要額外黃金蒸發(fā)的情況。另外該蒸發(fā)源可用于鋅蒸發(fā)后需要進(jìn)行銀連續蒸發(fā)的工藝。當按下“源1”時(shí)，圖標變?yōu)?ldquo;源2” ，并且“金層1”圖標變?yōu)?ldquo;金層2”。然后重復黃金蒸發(fā)步驟。VMD900DL說(shuō)明手冊 第18頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited如果不需要黃金二次沉積，那么通過(guò)按下“源1”按鈕兩次，操作員進(jìn)入“源3”，并且“金層1”圖標變?yōu)?ldquo;鋅層”。系統將自動(dòng)調整鋅蒸發(fā)腔室的壓力，通常需要幾秒鐘時(shí)間達到穩定，此時(shí)將顯示圖標“鋅層”。在慢慢調節電流電位計前，建議操作員通過(guò)按下“打開(kāi)燈光”按鈕關(guān)閉腔室的燈。用于蒸發(fā)金的相同工藝也適用于蒸發(fā)鋅，即操作員可以慢慢調整電流電位計，并增加蒸發(fā)電流直到蒸發(fā)皿發(fā)出暗紅色，鋅箔（或顆粒）源材料熔化并“浸濕”蒸發(fā)皿。此時(shí)，迅速按下“關(guān)閉燈光”按鈕打開(kāi)腔室的燈，并觀(guān)察被加工展示件的表面。通過(guò)慢慢增加電流，鋅將開(kāi)始堆積至展示件表面，顯現指紋。這將允許操作員觀(guān)察和評估鋅的沉積，以獲得最佳的指紋圖像。需要經(jīng)驗來(lái)判斷沉積至樣品材料的鋅量，以沉積足夠的鋅產(chǎn)生指紋圖像，但不會(huì )沉積過(guò)多鋅而降低指紋圖像的清晰度。注意：如果蒸發(fā)電流上升太快，那么金絲可能從蒸發(fā)皿中跳出。VMD900DL說(shuō)明手冊 第19頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太低，那么在屏幕上將不會(huì )顯示“鋅層”圖標，同時(shí)顯示圖標“低壓”。注意：如果鋅沉積工藝的腔室壓力太高，那么在屏幕上將不會(huì )顯示“鋅層”圖標，同時(shí)顯示圖標“高壓”。在這種情況下，不能蒸發(fā)鋅直到已糾正壓力條件。這通過(guò)小心逐步地調整位于腔室的右手側的泄漏閥完成。VMD900DL說(shuō)明手冊 第20頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited鋅蒸發(fā)結束時(shí)，按下“源3”按鈕將關(guān)閉所有蒸發(fā)源。按下“通風(fēng)”按鈕，腔室返回到大氣壓力，可以移除被加工展示件的材料。一旦按下，圖標在返回至“通風(fēng)”前暫時(shí)變?yōu)?ldquo;正在通風(fēng)”。通風(fēng)腔室需要大約2分鐘。菜單屏幕該屏幕允許訪(fǎng)問(wèn)所有其他系統屏幕。控制屏幕-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“控制屏幕”（參見(jiàn)上文）系統啟動(dòng)-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“泵操作屏幕”（參見(jiàn)上文）。壓力-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“壓力屏幕”（參見(jiàn)下文）。模擬-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“系統模擬屏幕”（參見(jiàn)下文）。VMD900DL說(shuō)明手冊 第21頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited數據-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“數據屏幕”（參見(jiàn)下文）。信息-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“信息屏幕”（參見(jiàn)下文）。報警-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“報警屏幕”（參見(jiàn)下文）中文/英文-按下此按鈕，更改HMI屏幕中使用的語(yǔ)言，從英文變更為中文，或相反。壓力屏幕該屏幕顯示背壓、粗抽壓和高真空計壓。系統模擬屏幕該屏幕提供有關(guān)系統運行狀態(tài)的信息，例如上述例子中真空泵處于運行中，高真空閥和止回閥打開(kāi)。圖標“高真空”表明系統處于高真空。壓力顯示器正顯示3.5×10-5毫巴。VMD900DL說(shuō)明手冊 第22頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited按下“關(guān)閉燈光”按鈕，打開(kāi)腔室LED燈，以照亮真空室內部。在工藝沉積期間，當加載金絲至蒸發(fā)皿和開(kāi)始施加電流至鋅蒸發(fā)皿時(shí)，這一步驟有用。按下“菜單”按鈕，操作員進(jìn)入“菜單屏幕”（參見(jiàn)下文）。按下“控制”按鈕，操作員進(jìn)入“控制屏幕”按下“外部”按鈕，操作員進(jìn)入“服務(wù)屏幕”。該屏幕顯示冷水機組（如配備）和氣動(dòng)壓縮機（如配備）的運行狀態(tài)。同時(shí)提示操作員供水和空氣供應是否在運行參數內。按下“內部”按鈕，操作員返回至“系統模擬屏幕”。數據屏幕該屏幕顯示有關(guān)所有關(guān)鍵運行的系統參數，包括背壓、粗抽壓和高真空計壓。主要部件的運行狀態(tài)（如旋轉真空泵、機械增壓泵等）和自動(dòng)控制程序中使用的設定點(diǎn)系列。VMD900DL說(shuō)明手冊 第23頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited注意：可以改變設定點(diǎn)，但是在未與West Technology討論前，強烈建議操作員不要更改任何設置點(diǎn)。信息屏幕該屏幕有許多按鈕，允許操作員了解系統的更多信息：啟動(dòng)泵-說(shuō)明當系統啟動(dòng)時(shí)真空泵的操作順序。報警-按下此按鈕，操作員進(jìn)入“報警屏幕”（參見(jiàn)下文）壓力-操作員進(jìn)入“壓力信息屏幕”（參見(jiàn)下文）。服務(wù)-操作員進(jìn)入“服務(wù)信息屏幕”（參見(jiàn)下文）。趨勢-操作員進(jìn)入“壓力趨勢屏幕”（參見(jiàn)下文）。維護-操作員進(jìn)入“維護屏幕”（參見(jiàn)下文）。定時(shí)器-操作員進(jìn)入“定時(shí)器屏幕”（參見(jiàn)下文）。I/O列表-操作員進(jìn)入“I/O列表屏幕”（參見(jiàn)下文）。VMD900DL說(shuō)明手冊 第24頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited壓力信息屏幕該屏幕說(shuō)明背壓、粗抽壓和高真空壓表如何工作并顯示真空壓力。服務(wù)信息屏幕該屏幕給予有關(guān)West Technology的聯(lián)系信息。有關(guān)服務(wù)支持合同的詳情，請聯(lián)系我們。趨勢屏幕該屏幕顯示粗抽和高真空壓力趨勢表。VMD900DL說(shuō)明手冊 第25頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited維護屏幕該屏幕給出系統的每周、每月、每3個(gè)月和年度維修計劃。定時(shí)器屏幕該屏幕給出有關(guān)擴散高真空泵預熱定時(shí)器（系統啟動(dòng)時(shí)激活）和擴散泵冷卻定時(shí)器（系統關(guān)閉時(shí)激活）的信息。I/O列表屏幕VMD900DL說(shuō)明手冊 第26頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited該屏幕受密碼保護，只能由授權的服務(wù)工程師訪(fǎng)問(wèn)。一旦訪(fǎng)問(wèn)，該屏幕允許工程師選擇系統的手動(dòng)控制和一系列其他功能。工藝周期裝載樣品為裝載樣品材料至腔室，操作員必須先釋放門(mén)閂并打開(kāi)門(mén)。注意：如果腔室已經(jīng)在運行或處于“密封”狀態(tài)，那么操作員必須按下“控制屏幕”上的“通風(fēng)”按鈕，使得腔室返回至大氣壓力。操作員然后從腔室撤回工件夾具（使用手柄）。當工件夾具處于完全伸出的位置，操作員拉動(dòng)位于右手側的小扣銷(xiāo)，并慢慢倒轉工件夾具。注意：必須拉出扣銷(xiāo)，以充分旋轉工件夾具至其設定位置。工件夾具具有一個(gè)三位式閂鎖組件-正常位置、90度、45度和完全倒轉。一旦工件夾具處于其所需位置，可以釋放扣銷(xiāo)，以鎖定工件夾具的位置。確保樣品材料是光滑的，使用小塊高性能磁體將其連接至工件夾具。一旦連接，旋轉工件夾具回到正常位置。注意：當旋轉工件夾具系統時(shí)應始終注意，并且操作員應確保不安裝不均衡負荷至工件夾具。最后操作員將工件夾具推回至腔室內，并關(guān)上門(mén)。腔室抽空為抽空腔室，操作員必須按下“控制屏幕”中的“抽空”按鈕。事件的先后序列如下：1. 粗抽閥打開(kāi)。VMD900DL說(shuō)明手冊 第27頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited2. 腔室內壓力降低到預定水平（交叉壓力）。3. 粗抽閥關(guān)閉。止回閥打開(kāi)。4. 高真空閥打開(kāi)。5. 腔室抽空至高真空壓力沉積過(guò)程1. 操作員首先確保電流電位計設置為零（順時(shí)針旋轉到底）。2. 如果不是在“控制屏幕”中，操作員通過(guò)“系統模擬屏幕”或“菜單屏幕”選擇該屏幕。3. 在“控制屏幕”中，操作員按下左側“關(guān)閉源”按鈕，該按鈕的圖標變?yōu)?ldquo;源1”，右側關(guān)閉源”下方圖標變?yōu)?ldquo;金層1”。4. 然后，操作員逆時(shí)針慢慢旋轉電流電位計旋鈕，直到獲得所需蒸發(fā)度。（參見(jiàn)上述“控制屏幕”中的注釋?zhuān)?/div>注意：黃金源的供電不要過(guò)快，因為會(huì )出現熱沖擊，而導致黃金從蒸發(fā)皿中跳出。緩慢向蒸發(fā)皿供電，直到黃金首次浸濕蒸發(fā)皿，然后增加供電，以實(shí)現完全蒸發(fā)。通過(guò)增加功率，黃金將完全蒸發(fā)，直到蒸發(fā)皿達到白熱狀態(tài)。注意：在黃金蒸發(fā)期間，最好關(guān)閉腔室燈。5. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時(shí)針滿(mǎn)旋電流電位計旋鈕，以確保其關(guān)閉。6. 然后操作員按下“源1”一次選擇進(jìn)行二次金蒸發(fā)，或按下“源1”兩次繼續鋅蒸發(fā)，而圖標變?yōu)?ldquo;源3”。將有短暫的停頓，同時(shí)系統自動(dòng)調整腔室中的壓力至約3×10-4毫巴。一旦鋅沉積的真空壓力在規定的范圍內，右側圖標變?yōu)?ldquo;鋅層”。VMD900DL說(shuō)明手冊 第28頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited可通過(guò)位于RHS上真空腔室正下方的LV10K細針型閥，將鋅蒸發(fā)壓力調整至預定范圍內。順時(shí)針旋轉閥門(mén)旋鈕，增加真空壓力（例如，從6.7×10-4至3.3×10-4毫巴），而逆時(shí)針旋轉，則減小真空壓力（例如，從3.3×10-4至6.7×10-4毫巴）。當蒸發(fā)鋅蒸發(fā)皿時(shí)，建議開(kāi)始時(shí)應關(guān)閉腔室燈。緩慢地供電，直至蒸發(fā)皿的兩端開(kāi)始發(fā)出暗紅色，并且在增加功率開(kāi)始蒸發(fā)前，允許短時(shí)間將鋅浸泡在該水平。注意：當蒸發(fā)鋅層時(shí)，建議打開(kāi)腔室燈，這樣可以觀(guān)察到指紋的顯現。在某些材料上很難觀(guān)察指紋的顯現。因此，建議固定一個(gè)小尺寸白色塑料試件至工件夾具，以幫助觀(guān)察。7. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時(shí)針滿(mǎn)旋電流電位計旋鈕，以確保其關(guān)閉。8. 完成鋅蒸發(fā)后，建議操作員切換回“金層1”，并緩慢增加電流直至金蒸發(fā)皿發(fā)出白熱。通過(guò)這一步驟將移除蒸發(fā)皿上的任何鋅污染。9. 一旦完成蒸發(fā)，操作員必須順時(shí)針滿(mǎn)旋電流電位計旋鈕，以確保其關(guān)閉。腔室通風(fēng)為使腔室通風(fēng)回到大氣壓力，操作員必須按下“控制屏幕”中的“通風(fēng)”按鈕。事件的先后序列如下：1. 高真空閥關(guān)閉。2. 短暫延時(shí)后，進(jìn)氣閥打開(kāi)。VMD900DL說(shuō)明手冊 第29頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited3. 一旦腔室處于大氣壓力，進(jìn)氣閥關(guān)閉并且系統重啟。腔室清洗注意：當清洗腔室設備時(shí)，應使用防塵口面罩、橡膠手套和安全眼鏡。注意：WTSL建議在開(kāi)始任何清洗前先關(guān)閉系統。注意：為確保不會(huì )積累大型沉積，腔室定期清洗非常必要。這將使日常維護更容易，并有助于保持系統的最佳性能。為協(xié)助清洗過(guò)程，腔室已安裝可拆卸的襯墊，一旦從腔室移除，應使用合適的溶劑擦除干凈。對于更頑固的沉積，我們建議使用輕百潔布擦拭。移除襯墊后，應清掃腔室，并特別注意母線(xiàn)周?chē)�，防止沉積的堆積而導致短路。注意：可以從West Technology訂購備用襯墊套。LED燈表面也需要定期清洗。我們建議在燈上涂敷適當的真空潤滑脂薄涂層，因此只需要使用適當溶劑清洗劑即可清洗。這將防止清洗期間燈具被劃傷。VMD900DL說(shuō)明手冊 第30頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited8 建議的服務(wù)要求每周Ÿ 檢查所有E2M80 和EH500真空泵的油視鏡的油位。如有需要，進(jìn)行補充。Ÿ 檢查氣動(dòng)壓縮機的油位（如果存在）。如有需要，進(jìn)行補充。Ÿ 清洗腔室和O型環(huán)密封。每月Ÿ 清洗腔室和室內設備。每3月Ÿ 檢查O型環(huán)門(mén)密封。每6月Ÿ 檢查擴散泵流體的條件和水平。每12月Ÿ 小型服務(wù)E2M80泵Ÿ 更換EH500機械增壓器中的油（如需要）。Ÿ 檢查擴散泵流體。Ÿ 檢查粗抽壓、背壓、進(jìn)氣和高真空閥。Ÿ 清洗和檢查真空計。注意：當清洗腔室、室內設備、真空閥、真空計等，應使用呼吸防塵面罩、橡膠手套和安全眼鏡。注意：必須按照制造商的說(shuō)明清洗表。VMD900DL說(shuō)明手冊 第31頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014West Technology Systems Limited9 建議的備件和耗材VMD900備件 零件號ultragrade 20油，1升 WTS/11024015/1Lultragrade 20油，4升 WTS/11024013/4LDC704擴散泵油，1升 WTS/704/1LAIM-S-NW25主動(dòng)倒置式磁控真空計頭 WTS/14641000ATC-M-1/8"主動(dòng)熱電偶真空計頭 WTS/35108000晶閘管熔絲16A WTS/THYFUSE備用熔絲組 WTS/熔絲工具箱 WTS/工具10 Bremag磁鐵包 WTS/NB012B-MLED燈 WTS/MR16-3CW-XREP4-C腔室門(mén)密封 WTS/門(mén)封O型密封圈組 WTS/密封組VMD耗材（所有型號）蒸發(fā)皿 零件號黃金（10包） WTS/金/蒸發(fā)皿銀（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿鋅（10包） WTS/銀/蒸發(fā)皿蒸發(fā)源材料金絲1m WTS/金/1M銀絲1m WTS/銀/1M鋅粒250g WTS/鋅/250gVMD900DL說(shuō)明手冊 第32頁(yè)Copyright ©West Technology Systems Limited 2014Unitrans世聯(lián)翻譯公司在您身邊,離您近的翻譯公司,心貼心的專(zhuān)業(yè)服務(wù),專(zhuān)業(yè)的全球語(yǔ)言翻譯與信息解決方案供應商,專(zhuān)業(yè)翻譯機構品牌。無(wú)論在本地,國內還是海外,我們的專(zhuān)業(yè)、星級體貼服務(wù)，為您的事業(yè)加速！世聯(lián)翻譯公司在北京、上海、深圳等國際交往城市設有翻譯基地，業(yè)務(wù)覆蓋全國城市。每天有近百萬(wàn)字節的信息和貿易通過(guò)世聯(lián)走向全球！積累了大量政商用戶(hù)數據，翻譯人才庫數據，多語(yǔ)種語(yǔ)料庫大數據。世聯(lián)品牌和服務(wù)品質(zhì)已得到政務(wù)防務(wù)和國際組織、跨國公司和大中型企業(yè)等近萬(wàn)用戶(hù)的認可。 專(zhuān)業(yè)翻譯公司,北京翻譯公司,上海翻譯公司,英文翻譯,日文翻譯,韓語(yǔ)翻譯,翻譯公司排行榜,翻譯公司收費價(jià)格表,翻譯公司收費標準,翻譯公司北京,翻譯公司上海。
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